1、真空熱處理可實現無氧化、無脫碳、無滲碳加熱。
2、有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
3、零件經真空熱處理后，畸變小，質量高。
4、基本上無公害。
4、真空加熱爐可在較高溫度下工作。

5

、某些化學熱處理，如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼，以及多元共滲速度較快，省時間，效率較高。
真空熱處理具有防氧化的作用。表面不氧化、不脫碳、并有還原除銹作用，省卻刀具的粗加工工序，可節約昂貴的刀具鋼材和原輔材料的消耗，節省加工時間，降低產品成本；真空熱處理具有真空脫氣、脫脂作用并無氫脆危險，防止刀具材料難熔金屬的表面脆化，使刀具材料表面純度提高，提高刀具的疲勞強度、塑性和韌性及耐腐蝕性，提高刀具的使用壽命；真空熱處理具有淬火變形小，可減少常規淬火變形的校正應力存在，降低刀片使用過程中斷裂的可能性，真空熱處理刀片的變形為鹽浴淬火的－，淬火后一般不需要校正就可精磨加工至成品；真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。一旦工藝確定，只要輸入工藝程序，熱處理操作將自動運行。